检测平台
59白菜专区论坛网页版建立了IGBT芯片和器件检测分析平台，I期投入超过1000万元引入进口设备和仪器，被认定为成 都市高新区“IGBT公共技术平台”。主要设备包括芯片全自动制样设备、高倍光学显微镜、扫描电子显微 镜、晶圆探针台、功率器件曲线追踪仪、功率器件动态测试机等，涵盖芯片微观结构、芯片/晶圆静态电学 参数、器件静态参数、动态参数、绝缘耐压等一系列项目测试，并且能够开展器件失效分析和逆向分析的 整套流程。
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高倍率金相显微镜可支持最高1000X下超景深光学显微观察
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扫描电子显微镜可进行30万倍放大观察，具有一体化能谱仪设计，应用于微区形貌成像及成份分析等
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晶圆探针台Taiko工艺专用探针台，支持最薄60um的8英寸晶圆产品测试
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功率器件曲线追踪仪对IGBT器件动态参数进行综合表征，筛选出动态不良品和参数不一致产品
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功率器件动态测试机对高功率器件静态电气参数进行综合表征，并可在高电压偏置时执行全自动电容测量
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高精度双脉冲测试平台对产品动态及短路参数进行精确测量，可满足不同测试环境要求
